工件上一旦產生內應力，就會使工件處于一種高能位的不穩定狀態，從而本能地向低能位的穩定狀態轉化，并伴隨工件變形，終使工件喪失原有的加工精度。工件在熱處理后，由于壁厚不均、冷卻不均等原因，產生內應力，從而導致變形，終降低加工精度。 在精密加工和大件加工中，工藝系統熱變形對工件加工精度的影響較大，由熱變形所引起的加工誤差有時可占工件總誤差的40%～70%。機床、刀具和工件受到各種熱源的作用，溫度會逐漸升高，同時它們向周圍的物質和空間傳遞熱量。從而使工件和整個工藝系統產生變形，當單位時間傳入的熱量與其散出的熱量相等時，工藝系統就達到了熱平衡狀態。